日常生活用水以及工業(yè)生產中用水都是以天然水為水源，經過超純水系統(tǒng)過濾，除去水中所含的雜質以達到相關用水領域的水質要求。

　　一般來說，超純水系統(tǒng)選擇的水源首先考慮地下水，如果地下水水量不足，水質不能滿足要求時，然后才考慮地面水，地下水特別是深層地下水比地面水有下列優(yōu)點：

　　1、深層地下水大都先經過較長距離的砂層，進行了天然的過濾，所以水質清澈，幾乎沒有細菌，選用這樣的水源，使得超純水系統(tǒng)制備純水的效率更高。

　　2、地下水的溫度比較穩(wěn)定，終年保持在一定的范圍之內，即使在夏季，水溫也不受影響，因此經過超純水系統(tǒng)制備之后，用于像工業(yè)冷卻水用水很合適。

　　3、由于河流受洪水影響常帶有大量的泥沙，造成處理上的困難，另一方面，地面水暴露在大氣中，容易受到污染，不經過超純水系統(tǒng)制備不能直接應用在一些對水質要求很高的行業(yè)中。

　　當然地下用水也存在缺點，比如含礦物質較高，如果直接拿來作為工業(yè)用水的話，不符合水質要求，同時，地下水的開采比較麻煩。超純水系統(tǒng)的水源可以使地面水、地下水或者是一般的天然水，超純水系統(tǒng)這些源水通過特殊工藝的處理之后，得到至純的超純水。